產品功能：

◆采用一套多臂氣動（dòng）機械（xiè）手傳動，定位精準，效率高。

◆人機界麵，PLC程序控製，觸摸屏（píng）操作。

◆水係型清洗劑、DI水、IPA清洗幹燥。

◆間接式導熱油加熱（rè）方（fāng）式，全自動（dòng）IPA檢（jiǎn）測、滅火裝置。

◆機（jī）架及全封閉外罩HEPA高效空氣過濾器，防止二（èr）次汙（wū）染。

◆采用（yòng）多種清洗頻率清（qīng）洗設備：40KHz、80KHz、100KHz、120KHz。